1. Cơ quan hành chính nhà nước
Cơ quan hành chính nhà nước là người đại diện cho quyền lực nhà nước cho nên trong thủ tục hành chính, cơ quan nhà nước là chủ thể bắt buộc.
2. Cơ quan lập pháp và cơ quan tư pháp
Các cơ quan nhà nước như Quốc hội, Hội đồng nhân dân, Tòa án nhân dân, Viện kiểm sát nhân dân tuy không có chức năng hành pháp nhưng trong công tác tổ chức nội bộ cơ quan như: Tuyển dụng, đề bạt, khen thưởng, kỷ luật, v.v. cũng phải thực hiện thủ tục hành chính với tư cách là chủ thể bắt buộc.
3. Tổ chức xã hội và tổ chức kinh tế
Các tổ chức này tham gia thủ tục hành chính với tư cách là chủ thể không mang quyền lực nhà nước, ngoại trừ một số tổ chức xã hội được Nhà nước trao quyền thì có thể là chủ thể mang quyền lực nhà nước.
4. Cá nhân
Công dân Việt Nam, người nước ngoài, người không quốc tịch sẽ trở thành chủ thể của thủ tục hành chính khi họ tham gia vào các quan hệ thủ tục hành chính.